[14a-D10-1~9] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[14a-D10-1] RFバイアス三極スパッタ法におけるイオン照射を利用したO面，Zn面，a面およびm面ZnO薄膜の形成

〇橋本 亮介¹、高柳 真司¹、柳谷 隆彦²、松川 真美¹ (1.同志社大学, 2.名工大)

キーワード：圧電薄膜