2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.3 酸化物エレクトロニクス

[14a-D10-1~9] 6.3 酸化物エレクトロニクス

2015年3月14日(土) 09:30 〜 11:45 D10 (16-305)

09:30 〜 09:45

[14a-D10-1] RFバイアス三極スパッタ法におけるイオン照射を利用したO面,Zn面,a面およびm面ZnO薄膜の形成

〇橋本 亮介1、高柳 真司1、柳谷 隆彦2、松川 真美1 (1.同志社大学, 2.名工大)

キーワード:圧電薄膜