[14a-D10-1~9] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[14a-D10-2] RFマグネトロンスパッタ法におけるZnOターゲット温度がc軸平行配向ZnO膜の形成に及ぼす影響

〇高田 千裕¹、高柳 真司¹、柳谷 隆彦²、松川 真美¹ (1.同志社大, 2.名工大)

キーワード：ZnO、RFマグネトロンスパッタ法、ターゲット温度