[14a-D10-1~9] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[14a-D10-9] 抵抗変化メモリ用MOD法BaTiO₃薄膜作製時焼成雰囲気が薄膜特性に与える影響

〇橋本 修平¹、杉江 敏幸¹、張 子洋¹、山下 馨¹、野田 実¹ (1.京工繊工芸)

キーワード：抵抗変化メモリ、BaTiO3、酸素欠陥