[14a-D6-1~11] 12.7 医用工学・バイオチップ

[14a-D6-7] ウェーハスケール厚膜ポリマー・マイクロ流路のための感光性接着材

〇稗田 克彦¹、宮崎 智和¹、窪 寛仁¹、西村 功¹、Peeters Sara²、Van Roosbroeck Ruben² (1.JSR, 2.JSR Micro NV)

キーワード：ポリマーマイクロ流路、感光性接着材、厚膜