[14a-D7-1~12] 17.4 デバイス応用

[14a-D7-8] グラフェンカンチレバー型NEMSスイッチの作製と評価

〇(M2)兼竹 望^{1, 2}、ムルガナタン マノハラン^{1, 2}、水田 博^{1, 2} (1.北陸先端大, 2.サザンプトン大)

キーワード：グラフェン、NEMS、カンチレバー