2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

3 光・フォトニクス » 3.8 光計測技術・機器

[14p-A14-1~8] 3.8 光計測技術・機器

2015年3月14日(土) 13:00 〜 15:00 A14 (6A-103)

13:00 〜 13:15

[14p-A14-1] 準ニュートン法を用いたエリプソメトリー計測の窓補正

金 蓮花1、〇(B)春日 翔貴1、近藤 英一1 (1.山梨大工)

キーワード：エリプソメトリー