[14p-A20-1~7] 9.3 ナノエレクトロニクス

[14p-A20-3] 蒸着中エレクトロマイグレーション法を用いた精密ナノギャップ作製

〇内藤 泰久¹、堀川 昌代¹、石田 敬雄¹ (1.産総研ナノシステム)

キーワード：ナノギャップ電極、エレクトロマイグレーション