[14p-A29-1~8] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[14p-A29-1] 集光加熱FZ法によるハーフインチ径シリコン結晶成長

〇池田 伸一^{1, 2}、西村 健史³、小澤 哲也⁴、長澤 亨³、高須 誠一³、原 史朗^{1, 2} (1.産業技術総合研究所, 2.ミニマルファブ技術研究組合, 3.キヤノンマシナリー, 4.リガク)

キーワード：ミニマル、結晶成長