[14p-A29-1~8] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[14p-A29-4] ミニマルレーザ加熱装置の高速昇降温特性の評価

〇佐藤 和重¹、遠江 栄希¹、千葉 貴史^{1, 3}、寺田 昌男^{1, 3}、中戸 克彦¹、三浦 典子¹、池田 伸一^{1, 2}、クンプアン ソマワン^{1, 2}、原 史朗^{1, 2} (1.ミニマルファブ技術研究組合, 2.産総研, 3.坂口電熱)

キーワード：レーザー加熱、ミニマルファブ