[14p-B1-1~6] 窒化物半導体特異構造の科学　～成長・プロセスとエレクトロニクス展開～

[14p-B1-1] Ⅲ-Cl・Ⅲ-Cl₃混在ハライド気相成長によるⅢ族窒化物特異構造の形成

〇熊谷 義直¹、富樫 理恵¹、ティユ クァン トゥ²、村上 尚¹、Monemar Bo^{2, 3}、纐纈 明伯¹ (1.東京農工大院工, 2.東京農工大GIRO, 3.Linköping Univ.)

キーワード：ハライド気相成長、Ⅲ族窒化物、特異構造