[14p-C1-1~8] 7.6 イオンビーム一般

[14p-C1-3] 炭化水素多原子分子イオンビームによる固体及び液体表面へのイオン照射

〇長山 功諭¹、林 恭平¹、竹内 光明¹、龍頭 啓充¹、高岡 義寛¹ (1.京大光電子理工セ)

キーワード：シリコン、イオン液体、薄膜