[14p-C1-1~8] 7.6 イオンビーム一般

[14p-C1-5] イオン液体ビーム照射による有機系試料の二次イオン質量分析(SIMS)

〇藤原 幸雄¹、齋藤 直昭¹ (1.産総研)

キーワード：二次イオン質量分析、イオン液体、SIMS