[14p-D12-1~5] 1.6 計測技術・計測標準

[14p-D12-3] ウェハ表面パーティクル検査装置校正用の粒子数基準ウェハの開発

〇田島 奈穂子¹、飯田 健次郎^{1, 2}、榎原 研正²、クンプアン ソマワン^{1, 2}、原 史朗^{1, 2} (1.ミニマルファブ技術研究組合, 2.産総研)

キーワード：粒子数、ウェハ表面パーティクル検査装置