[14p-D9-1~8] 6.6 プローブ顕微鏡

[14p-D9-8] 液中AFM用フローセルの開発とCu配線腐食過程の直接観察

〇北川 拓弥¹、尾形 奨一郎¹、福永 明²、嶋 昇平²、高東 智佳子²、淺川 雅³、福間 剛士^{1, 3} (1.金沢大理工, 2.荏原製作所, 3.金沢大バイオAFMセンター)

キーワード：原子間力顕微鏡、腐食