13:30 〜 15:30 [14p-P5-11] 第一原理計算を用いたSi中のドーパント近傍の金属原子の拡散経路とエネルギー障壁に関する研究 〇(M2)山田 惇弘1、末岡 浩治1 (1.岡山県大情報工)