17:00 〜 17:15 [14p-A23-8] ダイヤモンド状炭素系膜の耐薬品性能評価 〇赤坂 大樹1、鈴木 常生2、中野 雅之3、神田 一浩4、大竹 尚登1 (1.東工大、2.長岡技科大、3.東京高専、4.兵庫県大)