14:00 〜 14:15 △ [15p-B3-2] イオン多重散乱によるMBE-β-FeSi2/Siヘテロエピタキシーの評価 〇淵 雅也1、有馬 幹尋1、寺井 慶和1、鳴海 一雅2、前田 佳均1,2 (1.九工大院情報工、2.量研機構量子ビーム)