15:00 〜 15:15 △ [15p-A22-7] 溶液法IGZO薄膜におけるGa比率と焼成温度が伝達特性に与える影響 〇(M1)落合 祐輔1、森本 貴明1、福田 伸子3、大木 義路1,2 (1.早大先進理工、2.早大材研、3.産総研FLEC)