13:30 〜 15:30 [15p-P10-12] α-Al2O3/ZnO多層膜の熱拡散によるZnAl2O4薄膜の作製 〇伊藤 太郎1、小南 裕子1、原 和彦2、中西 洋一郎2 (1.静大大学院総合科学技術研究科、2.静岡大電子研)