10:30 〜 10:45 [13a-A23-3] 小型スパッタリング装置を用いたPZT圧電膜の作製と評価 〇木村 勲1、小林 宏樹1、露木 達郎1、神保 武人1、鄒 弘綱1、杉田 浩志2、渡邉 憲志2 (1.株式会社アルバック、2.アルバック九州株式会社)