田中祥太郎

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発表者・著者、共著者

2016年9月15日(木) 09:00 〜 12:00 A26 (203-204)

一般セッション(口頭講演)
| 6 薄膜・表面
| 6.2 カーボン系薄膜

[15a-A26-1~11] 6.2 カーボン系薄膜

11:30 〜 11:45

△ [15a-A26-10] 軟X線照射によるSi含有水素化DLC膜の膜改質の温度依存性

〇田中祥太郎¹、岡田真¹、神田一浩¹ (1.兵県大高度研)