10:45 〜 11:00 [15a-B9-3] 原子層堆積Al2O3膜の電気特性に対する熱処理効果 〇平岩 篤1,3、松村 大輔2、大久保 智2、川原田 洋1,2 (1.早大ナノ・ライフ、2.早大理工、3.名大未来研)