16:00 〜 18:00 [13p-P7-7] 高耐熱抵抗器用電極金属多層膜の作製 〇中島 智彦1、伊藤 武2、河野 桂子1、浦野 幸一2、田中 清志2、北中 佑樹3、中村 吉伸3、宮山 勝3、土屋 哲男1 (1.産総研、2.株式会社KOA、3.東大院工)