17:15 〜 17:30 △ [14p-A23-9] BEMA法及びNEXAFS法を用いたDLC膜の構造評価 〇(D)周 小龍1、荒川 悟1、鈴木 常生1、小松 啓志1、神田 一浩2、齋藤 秀俊1 (1.長岡技科大、2.兵庫県立大)