16:00 〜 18:00 [13p-P7-13] 陽電子消滅寿命測定を用いたイオン注入による点欠陥の分析 〇松井 信衞1、赤石 陽太1、松本 敦2、赤羽 浩一2、松島 裕一3、石川 浩1、宇髙 勝之1 (1.早大理工、2.情報通信研究機構、3.早大GCS機構)