17:30 〜 17:45 △ [15p-A23-16] 電子線照射発光活性化PL法によるCZ-Si結晶中の酸素析出過程の解析 〇樋口 史仁1、田島 道夫1、木内 広達1、小椋 厚志1 (1.明治大理工)