10:00 〜 10:15 [13a-C31-3] 近紫外フェムト秒レーザによる溶融石英穿孔構造の内表面粗さ評価 〇白石 正彦1、合谷 賢治2、窪寺 昌一1、渡辺 一弘1 (1.創価大理工、2.産総研)