10:00 〜 10:15 [15a-A23-5] 長時間成長停止したCZ Si結晶(Ⅲ) -転位群のSRトポグラフィ- 〇松井 純爾1、津坂 佳幸2、鶴丸 哲也2、阿部 孝夫3 (1.兵庫県大放射光ナノテクセンター、2.兵庫県大院物質理学、3.信越半導体)