11:15 〜 11:30 △ [14a-A26-9] スパッタ法により作製したSi-DLCとTi-DLCのドーパント効果 〇石黒 菜々子1、賈 軍軍1、黒瀬 愛美2、待永 広宣2、重里 有三1 (1.青学大理工、2.日東電工)