15:00 〜 15:15 [13p-A21-6] ハフニウム上に作製したGaN薄膜の特性評価 金 惠蓮1、〇太田 実雄1,2、小林 篤1、上野 耕平1、藤岡 洋1,3 (1.東大・生研、2.JST-さきがけ、3.JST-ACCEL)