16:30 〜 16:45 [16p-B7-13] RePAC法を用いたプラズマ窒化によるc-BN膜密着性の改善 〇野間 正男1、山下 満2、江利口 浩二3、長谷川 繁彦4 (1.神港精機㈱、2.兵庫県立工業技術センター、3.京大院工、4.阪大産研)