14:45 〜 15:00 [14p-A25-6] CZ-Si結晶成長シミュレーションによる装置構造の最適化 〇西原 雄太1、小松 太樹1、沓掛 穂高2、太子 敏則2、干川 圭吾2 (1.エム・セテック(株)、2.信州大学)