09:30 〜 11:30 [14a-P6-15] Si基板上AlGaN/GaN HEMT構造縦方向耐圧におけるSLS層周期数の影響 〇山岡 優哉1,2、各務 憲2、生方 映徳1、矢野 良樹1、田渕 俊也1、松本 功1、江川 孝志2 (1.大陽日酸、2.名工大)