09:30 〜 09:45 △ [16a-A22-3] β-Ga2O3 (010)単結晶のエッチピットの構造 〇森林 朋也1、花田 賢志1、輿 公祥2、佐々木 公平2、倉又 朗人2、上田 修3、嘉数 誠1 (1.佐賀大院工、2.タムラ製作所、3.金沢工大)