13:30 〜 15:30 [13p-P5-28] 熱CVDによるGaN表面への直接ナノカーボン成長の低温化 〇相田 航1、榎本 学祥1、新井 秀樹1、横澤 孝典1、上野 和良1,2 (1.芝浦大工、2.芝浦グリーン研)