14:30 〜 14:45 [13p-A21-5] その場減圧窒素マイクロプラズマ処理によるMOMBE GaN成長再現性の向上 〇日下部 安宏1、丸山 隆浩1、清水 一男2、成塚 重弥1 (1.名城大理工、2.静大工)