09:30 〜 11:30 [15a-P11-12] ALE成長SiドープGaAsN薄膜のアニール処理が比抵抗に与える影響 〇横山 祐貴1、堀切 将1、原口 智宏1、山内 俊浩1、鈴木 秀俊1、碇 哲雄1、福山 敦彦1 (1.宮崎大工)