大気圧プラズマ分析装置、コンパクト型二次イオン質量分析計(SIMS、SNMS)、多サンプル対応XYステージ付SIMS、プラズマイオンエネルギーアナライザー付質量分析計、ラングミュアプローブ、自動昇温脱離ガス分析計(TPD,TDS)、大気圧サンプリング・ガス質量分析計、四重極質量分析計、SIMS型エンドポイントディテクターなど