Exhibitors' information
[Jt-9] AOV Co., Ltd.
１．グローブボックス内収納／接続型蒸着装置 ２．真空蒸着用基板加熱機構（赤外線ランプ、赤外線レーザ、ＳｉＣ、白金、グラファイト、シース等） ３．複合型ＰＬＤ／ＭＢＥ蒸着装置 ４．多元マルチ型マグネトロンスパッタ装置
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