■高精度形状測定システムDyvoce(ダイボス)～半導体ウエハの反り・膜厚をはじめとする形状を簡単・高精度測定～　非接触型の形状測定システム(ダイボズ)は生成した2D/3DモデルからSEMI規格のSORI・BOW・GBIR等の各種規格値の自動算出が可能です。　お客様の仕様に合わせたカスタマイズも可能です。