2016年 第77回応用物理学会秋季学術講演会

出展者情報

[SP-3] テガサイエンス(株) / Korvus Technology Ltd

英国Korvus Technology社製ベンチトップ真空成膜システムHEXを展示いたします。 HEXシステムは交換可能なウォールプレートの採用により短時間で自由自在に構成を変更可能な、汎用性および費用効果に優れたベンチトップ真空成膜システムです。 モジュラー式ウォールプレートを交換することにより、シンプルなコーティングシステムから多層膜成膜システム、教育用真空システムまたは薄膜分析システムに短時間で再構成することができます。