■高精度形状測定システムDyvoce(ダイボス)～半導体ウエハの反り・膜厚をはじめとする形状を簡単・高精度測定～　非接触型の形状測定システム(ダイボズ)は生成した2D/3DモデルからSEMI規格のSORI・BOW・GBIR等の各種規格値の自動算出が可能です。　お客様の仕様に合わせたカスタマイズも可能です。

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真空部品を専門に取り扱う商社です。京セラ製の端子やビューボート、ガラス配管等を取り扱っています。

赤外線導入加熱装置（GVL298)　均温熱処理装置（GFA430VN)　超高温スーパーRTA装置（SR1800G）　他

■シミュレーション受託 ■ナノインプリントファウンドリ ■関連アプリケーション

DiffractMOD：RCWA法による回折光学素子解析ソフトウエア　FullWAVE：FDTD法によるナノ構造の電磁界解析ソフトウエア　BeamPROP：BPM法による光導波路・ファイバの伝播解析ソフトウエア FemSIM：FEM法による光導波路・ファイバのモード解析ソフトウエア Setfos：有機デバイスの光学・電気特性を包括的に解析するソフトウェア

汎用可視化ソフトウェアAVS/Express：シミュレーション結果を2次元、3次元で可視化します。プレゼンテーション効果の高いアニメーションも簡単に作成できます。

超高真空用NEGポンプ　CapaciTorrシリーズ NEG・イオン一体型超高真空用ポンプ　NexTorrシリーズ 高真空対応新型ポンプ CapaciTorr HVシリーズ

プラズマ装置

高周波電源/高周波増幅器/RFコンポーネント

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試作品、パンフレット、ポスター

卓上型スパッタ装置　SC-701MkII ADVANCE ■小型プログラマブルスパッタ装置　SC-701HMCII ■真空蒸着装置　SVC-700TMSG/7PS80

CFOフランジ　電流導入端子　継手　カスタム真空装置　オックスフォード・アプライド・リサーチ社製品（薄膜成膜用部品）

LED照明　他

ECR/ALD薄膜形成装置紹介、成膜サンプル各種

分光エリプソメーター

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材料科学関連試薬の最新情報、材料科学研究のためのAldrich季刊ニュースレター「Material Matters」、ほか