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ITO系の特殊ターゲットを展示します。赤外高透過、表面高平坦、低温低抵抗、高抵抗など。
Lake Share社製 THz物性評価システム、東陽テクニカ社製 Resi Test8400, EDMS制御ソフトウェア
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光学フィルター BP LIVIR, Mirror, ND, Excitation Barrier(紫外、可視、近赤、赤外)
・スパッタリングターゲット材料(薄膜材料)・リチウムイオン二次電池材料(正極材・固体電解質等)・MOCVD材料 ・MODコート材料(酸化物半導体・導電性酸化物・強誘電体等)
スタージェム光学計
オープンクリーンシステムKOACH、静電塗布装置PDR-04、HVA社製手動ゲートバルブ、H-Square社製ハンドリングツール、極低温プローバーパネル
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TBD
●サファイア、ダイヤモンド結晶育成・加工技術 ●精密微細加工 ●小型基板洗浄装置『Ecclear -エクリア』
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高感度CCD/EMCCD/ICCD検出器、無収差型分光器
完全無冷媒MPMS3(磁気特性測定装置),完全無冷媒PPMSシリーズ(EverCoolII, Dynacool, VersaLab)
分光エリプソメーター、ライフタイム測定装置、DLTS、AFM
卓上型走査電子顕微鏡
■EPIREVO G8 枚葉式200/150mm GaN-on-Si MOCVD装置 ■EPIREVO S6 枚葉式150/100mm SiCエピタキシャル成長装置 ■HT2000FD 枚葉式200mm シリコンエピタキシャル成長装置
Nature Research ポートフォリオをご紹介いたします。今年1月に創刊した月刊オンラインジャーナルNature EnergyとNature Reviews Materials。また、6月にリリースしたNature Research Solutionsからナノテク分野に特化したソリューションデータベースNano。Nanoでは、実際のサイトにアクセスいただけます。
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■真空はんだフロー装置 ■マニュアルプローバー ■真空ガス置換炉高速熱処理装置 ■4深針プローバー ■ワイヤーボンダー ■ダイボンダー
原子層堆積装置 ダイレクトリキッドインジェクションCVD 高温アニール装置