[13a-A22-1~11] 10.1 新物質創成（酸化物・ホイスラー・金属磁性体等）

[13a-A22-11] 垂直磁気異方性を持つコバルト薄膜のCVD成膜

〇大寺 泰章¹、島田 拓哉¹、門 昌輝¹、カンサ ミカエル¹、森瀬 博史¹、中村 志保¹、近藤 剛¹ (1.東芝研究開発センター)

キーワード：CVD成膜、垂直磁気異方性