[13a-A23-1~7] 6.1 強誘電体薄膜

[13a-A23-3] 小型スパッタリング装置を用いたPZT圧電膜の作製と評価

〇木村 勲¹、小林 宏樹¹、露木 達郎¹、神保 武人¹、鄒 弘綱¹、杉田 浩志²、渡邉 憲志² (1.株式会社アルバック、2.アルバック九州株式会社)

キーワード：MEMS、圧電膜、スパッタリング

機能性材料薄膜を用いたMEMS/センサーの開発が盛んに行われる中、我々は機能性材料膜の開発効率化に貢献するため、低コストで高い実験自由度を持つ小型スパッタリング装置を開発している。本発表では機能性材料薄膜としてPb(Zr.Ti)O₃(PZT)圧電膜を選択、RFスパッタリング法を用いて成膜し、各種膜質評価を行ったので報告する。