[13a-A23-1~7] 6.1 強誘電体薄膜

[13a-A23-6] 圧電MEMS振動発電への応用に向けたBiFeO₃薄膜の誘電特性の改善

〇荒牧 正明¹、苅谷 健人¹、吉村 武¹、村上 修一²、藤村 紀文¹ (1.阪府院工、2.阪府産技研)

キーワード：BFO、PVEH、圧電

圧電MEMS振動発電の圧電体材料としてBiFeO₃薄膜を用い、約10μW/mm²/G²の規格化発電量の素子の作製に成功している。しかし、実発電量は0.034μWと低いため、実発電量の向上に向け素子のサイズアップを行う。高い変換効率を維持するためには圧電体膜の厚膜化が要求され、本研究ではスパッタ法を用いてBiFeO₃膜を作製しており、これまでの試料では誘電分散により比誘電率が増大するという課題を有している。今回はその解決に取り組んだ結果について発表する。