[13a-A32-1~9] 17.2 グラフェン

[13a-A32-1] 室温近傍でのプラズマ酸化を援用したSiC上のC系生成物の形成と分析

〇細尾 幸平¹、伊藤 亮太¹、川合 健太郎¹、佐野 泰久¹、森田 瑞穂¹、有馬 健太¹ (1.阪大工精密)

キーワード：グラフェン、シリコンカーバイド