[13a-A32-1~9] 17.2 グラフェン

[13a-A32-7] Ｃｕ上ＣＶＤグラフェン／銀ナノワイヤ積層のポリマー膜への一括転写

〇内藤 勝之¹、吉永 典裕¹、赤坂 芳浩¹ (1.東芝研究開発センター)

キーワード：グラフェン、銀ナノワイヤ、透明電極フィルム

透明電極用のＣＶＤグラフェン/銀ナノワイヤ積層膜は、従来ＰＭＭＡや熱転写フィルムにＣＶＤグラフェンを転写した後、銀ナノワイヤ上にさらに転写して作製されており、２回の転写が必要である。今回、２種類のCuエッチング液を用いることによりＣＶＤで作製したグラフェン膜と銀ナノワイヤとの積層膜を簡便に１回のみの転写で形成可能とし、また平坦化にも適する方法を開発した。