[13a-A35-1~10] 13.9 光物性・発光デバイス

[13a-A35-3] ZnGa₂O₄ホストの結晶性・酸化度とEu³⁺ドーパントの発光特性

〇赤沢 方省¹、篠島 弘幸² (1.NTT DIC、2.久留米高専)

キーワード：ZnO、Eu3+、PL

ZnGa₂O₄はEu³⁺イオンをドープするための安定なホスト結晶であるが、プロセス条件によってEu³⁺の発光強度は様々に変化する。本研究においては、O₂ガス及びH₂Oガスによってスパッタ成膜した場合について、膜の酸化度・結晶性と発光強度の関係を捉え、強い発光を実現するための要因を明らかにした。